Original title:
SMV-2019-61: Konstrukce a depozice systému optických interferenčních vrstev filtrujícího laserové záření
Translated title:
SMV-2019-61: The design and deposition of thin film optical interference filters
Authors:
Oulehla, Jindřich ; Pokorný, Pavel Document type: Research reports
Year:
2019
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Konstrukce, vývoj a depozice vzorků interferenčních filtrů pomocí technologie vakuového napařování elektronovým svazkem. Depozice je provedena na substráty dodané zákazníkem.Design, development and deposition of interference filters using vacuum electron beam evaporation. The filters are deposited on substrates supplied by the customer.
Keywords:
e-beam evaporation; interference filters; thin film optics
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0303965