Název:
SMV-2019-61: Konstrukce a depozice systému optických interferenčních vrstev filtrujícího laserové záření
Překlad názvu:
SMV-2019-61: The design and deposition of thin film optical interference filters
Autoři:
Oulehla, Jindřich ; Pokorný, Pavel Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2019
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Konstrukce, vývoj a depozice vzorků interferenčních filtrů pomocí technologie vakuového napařování elektronovým svazkem. Depozice je provedena na substráty dodané zákazníkem.Design, development and deposition of interference filters using vacuum electron beam evaporation. The filters are deposited on substrates supplied by the customer.
Klíčová slova:
e-beam evaporation; interference filters; thin film optics
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0303965