Original title:
Hloubkové profilování multivrstev metodou LEIS
Translated title:
Depth profiling of multilayers by LEIS
Authors:
Strapko, Tomáš ; Duda, Radek (referee) ; Bábor, Petr (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2019
Language:
eng Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[eng][cze]
Diplomová práce se zabývá vytvořením modelu, který by umožnil lepší interpretaci hloubkových profilů měřených metodou LEIS. Obtížnost interpretace těchto profilů je dána vysokým podílem vícenásobně odražených projektilů v meřených spektrech. Tyto projektily nepřináší užitečnou informaci z dané hloubky. Naproti tomu jednonásobně odražené projektily nesou přesnější informaci o složení a tloušťce vrstev. V této práci vytvořený model se snaží určit příspěvek jednonásobně odražených částic k celkovému tvaru spektra a na základě něj i hloubkový profil vzorku.
The master's thesis deals with introducing the model which would enable better interpretation of the depth profiles obtained by the LEIS method. The difficulty of the interpretation is caused by the significant contribution of multiple-scattered projectiles to the resulting measured spectra. These projectiles do not provide useful information from respected depth. In contrary, single-scattered projectiles yield more precise information about the composition and the thickness of the layers. The model created in the presented work attempts to determine the contribution of single-scattered particles to the resulting spectral shape and, based on the computation, a depth profile of the sample as well.
Keywords:
LEIS; model jednonásobního odrazu; Nízkoenergiový iontový rozptyl; TRBS; LEIS; Low Energy Ion Scattering; single-scattering model; TRBS
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/179131