Název: Deposition of Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films by double RF hollow cathode plasma jet system
Překlad názvu: Depozice tenkých vrstev Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. pomocí dvoutryskového RF plazmatického systému s efektem duté katody
Autoři: Hubička, Zdeněk ; Virostko, Petr ; Olejníček, Jiří ; Deyneka, Alexander ; Adámek, Petr ; Valvoda, V. ; Jastrabík, Lubomír ; Šícha, Miloš ; Tichý, M.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International conference on phenomena in ionized gases - ICPIG /28./, Praha (CZ), 2007-07-15 / 2007-07-20
Rok: 2007
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]

Klíčová slova: BSTO; hollow cathode; plasma deposition; plasma jet; thin films
Číslo projektu: CEZ:AV0Z10100522 (CEP), KAN301370701 (CEP), 1QS100100563 (CEP), 1M06002 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR, GA AV ČR, GA MŠk
Zdrojový dokument: International conference on phenomena in ionized gases- ICPIG /28./, ISBN 978-80-87026-01-4

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0171898

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-40124


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference
 Záznam vytvořen dne 2011-07-01, naposledy upraven 2024-01-26.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet