Original title: Konstrukce spektroskopického systému pro systém reaktivního iontového leptání
Translated title: Mechanical and optical design of spectroscopic system for reactive ion etching system
Authors: Šilhan, Lukáš ; Dostál, Zbyněk (referee) ; Šerý, Mojmír (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2019
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]

Keywords: Czerny-Turner spectroscope; DRIE; optical design; optical emission spektroscopy; reactive ion etching; RIE; Czerny-Turner spektroskop; DRIE; optická emisní spektroskopie; optický návrh; reaktivní iontové leptání; RIE

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/179402

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-400965


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses
 Record created 2019-08-26, last modified 2022-09-04


No fulltext
  • Export as DC, NUŠL, RIS
  • Share