Original title:
Konstrukce spektroskopického systému pro systém reaktivního iontového leptání
Translated title:
Mechanical and optical design of spectroscopic system for reactive ion etching system
Authors:
Šilhan, Lukáš ; Dostál, Zbyněk (referee) ; Šerý, Mojmír (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2019
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Záznam emisního spektra plazmatu během reaktivního iontového leptání umožňuje charakterizaci leptaných látek a kontrolu nad leptacím procesem. V rámci této diplomové práce je navržen spektroskopický systém v konfiguraci Czerny-Turner, pro použití na systému reaktivního iontového leptání. Vyvinutý spektroskop dosahuje rozlišení 1 nm v oblasti 350-800 nm. Zařízení bylo testováno během reaktivního iontového leptání křemíku.
Measurement of absorption spectra of plasma during reactive ion etching enables characterization of etched species and control over the etching process. Aim of this diploma thesis is to design spectroscope with Czerny-Turner configuration for reactive ion etching system. Developed spectroscope achieves 1 nm resolution in 350-800 nm range. Device was tested during reactive ion etching of silicon.
Keywords:
Czerny-Turner spectroscope; DRIE; optical design; optical emission spektroscopy; reactive ion etching; RIE; Czerny-Turner spektroskop; DRIE; optická emisní spektroskopie; optický návrh; reaktivní iontové leptání; RIE
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/179402