Název: Konstrukce spektroskopického systému pro systém reaktivního iontového leptání
Překlad názvu: Mechanical and optical design of spectroscopic system for reactive ion etching system
Autoři: Šilhan, Lukáš ; Dostál, Zbyněk (oponent) ; Šerý, Mojmír (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2019
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Záznam emisního spektra plazmatu během reaktivního iontového leptání umožňuje charakterizaci leptaných látek a kontrolu nad leptacím procesem. V rámci této diplomové práce je navržen spektroskopický systém v konfiguraci Czerny-Turner, pro použití na systému reaktivního iontového leptání. Vyvinutý spektroskop dosahuje rozlišení 1 nm v oblasti 350-800 nm. Zařízení bylo testováno během reaktivního iontového leptání křemíku. Measurement of absorption spectra of plasma during reactive ion etching enables characterization of etched species and control over the etching process. Aim of this diploma thesis is to design spectroscope with Czerny-Turner configuration for reactive ion etching system. Developed spectroscope achieves 1 nm resolution in 350-800 nm range. Device was tested during reactive ion etching of silicon.
Klíčová slova: Czerny-Turner spektroskop; DRIE; optická emisní spektroskopie; optický návrh; reaktivní iontové leptání; RIE; Czerny-Turner spectroscope; DRIE; optical design; optical emission spektroscopy; reactive ion etching; RIE

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/179402

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-400965


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce