Original title: Study of the Mechanical Properties of Diamond-like Carbon Thin Films Deposited in Single and Dual Frequency Capacitive Discharges
Translated title: Studium mechanických vlastností DLC tenkých vrstev deponovaných v jedno a dvoufrekvenčním kapacitním výboji
Authors: Buršíková, V. ; Stoica, A. ; Sobota, Jaroslav ; Grossman, Jan ; Fořt, Tomáš ; Klapetek, P. ; Buršík, Jiří ; Bláhová, O.
Document type: Papers
Conference/Event: CESPC II. - Central European Symposium on Plasma Chemistry /2./, Brno (CZ), 2008-08-31 / 2008-09-04
Year: 2008
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Nanostructured diamond-like carbon coatings were deposited on several different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in single (13.56 MHz) and dual capacitive r.f. discharges (LF=100-300kHz, HF =13.56 MHz). The objective of our study was to find the optimum combination of the high and low frequency (continuous or pulsed) excitation enabling to cover uneven substrate surfaces and significant lowering of the internal stress in films. Nanostrukturované DLC povlaky byly deponovány na několik různých podložek (křemík, sklo, polykarbonát a ocel) v jedno(13.56 MHz) a dvoufrekvenčním kapacitním vysokofrekvenčním výboji(LF=100-300kHz, HF =13.56 MHz). Cílem bylo nalézt optimální kombinaci vysoko a nízko frekvenční (kontinualní nebo pulzní)excitace, umožňující jak pokrytí různých podložek tak významně snížit vnitřní napětí v povlacích.
Keywords: adhesion; DLC; hardness; PACVD
Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), CEZ:AV0Z20410507 (CEP), GA202/07/1669 (CEP)
Funding provider: GA ČR
Host item entry: 2nd Central European Symposium on Plasma Chemistry, Book of Extended Abstracts, ISBN N

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0166490

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39532


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers