TY - RPRT TI - Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů TT - Hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films AU - Hubička, Zdeněk AB - Zpráva popisuje hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozici optických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů s definovanými optickými vlastnostmi. AB - The report describes a hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films with defined optical properties. UR - http://hdl.handle.net/11104/0293030 UR - http://www.nusl.cz/ntk/nusl-391585 A2 - Olejníček, Jiří A2 - Kšírová, Petra A2 - Čada, Martin A2 - Tvarog, Drahoslav LA - cze KW - discharge KW - HiPIMS KW - plasma KW - thin film PY - 2018 PB - Fyzikální ústav, Na Slovance 2, 182 21 Praha 8, http://www.fzu.cz/ ER -