Název: SMV-2018-05: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Překlad názvu: SMV-2018-05: Development of test specimens for SEM
Autoři: Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Meluzín, Petr ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Krátký, Stanislav ; Knápek, Alexandr
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2018
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]

Klíčová slova: e-beam lithography; microlithography; relief structure; silicon etching

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0291155

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-390745


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy
 Záznam vytvořen dne 2019-01-07, naposledy upraven 2019-03-14.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet