Název:
Možnosti zobrazení dopovaných křemíkových struktur v PEEM a LVSEM
Překlad názvu:
Imaging of doped silicon structures using PEEM and LVSEM
Autoři:
Hovorka, Miloš ; Mika, Filip ; Frank, Luděk Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Mikroskopie 2008, Nové Město na Moravě (CZ), 2008-02-07 / 2008-02-08
Rok:
2008
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Studium dotovaných křemíkových struktur s využitím fotoemisní mikroskopie a nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopie. Study of doped silicon structures using photoemission electron microscopy and low-voltage scanning electron microscopy.
Klíčová slova:
dopants; PEEM; SEM; silicon Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Zdrojový dokument: Mikroskopie 2008, ISBN N
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0160916