Název: Topná MEMS platforma pro chemické senzory
Překlad názvu: MEMS microhotplate platform for chemical sensors
Autoři: Vančík, Silvester ; Svatoš, Vojtěch (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2018
Jazyk: slo
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [slo] [eng]

Klíčová slova: MEMS; microhotplate; photolithography; silicon dioxide; stress; thermal conductivity

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/80879

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-377046


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce
 Záznam vytvořen dne 2018-06-19, naposledy upraven 2022-09-04.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet