Název:
SMV-2017-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Překlad názvu:
SMV-2017-06: Development of test specimens for SEM
Autoři:
Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Meluzín, Petr ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Krátký, Stanislav ; Knápek, Alexandr Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2017
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Vývoj v oblasti realizace přesných reliéfních struktur v křemíku určených pro testování zobrazování v rastrovacích elektronových mikroskopech (REM).Research and development in the field realization of precise relief structures in the silicon dedicated to the testing of the scanning electron microscopes (SEM) deflection field and accuracy.
Klíčová slova:
e-beam lithography; microlithography; relief structure; silicon etching
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0278733