Original title: SMV-2017-22: Realizace víceosého interferometrického systému pro souřadnicové odměřování
Translated title: SMV-2017-22: Development of a multiaxis interferometric system of coordinate measurement
Authors: Holá, Miroslava ; Lazar, Josef ; Hucl, Václav ; Čížek, Martin
Document type: Research reports
Year: 2017
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Cílem projektu smluvního výzkumu bylo realizovat víceosý interferometrický systém pro souřadnicové odměřování. Jedná se o systém umožňující bezkontaktní měření polohy (posunutí) v osách x, y s kompenzací vlivu indexu lomu vzduchu. Důraz byl kladen na vysokou přesnost a opakovatelnost měření na nanometrové úrovni pro vlnovou délku 633 nm. Součástí projektu byl také vývoj a realizace řídící elektroniky pro detekci signálu pomocí homodynního kvadraturního detekčního systému. Celý systém byl testován v laboratorních podmínkách a poté instalován do příslušného systému v zadavatelské firmě. The aim of the project of the contractual research was development of a multiaxis interferometric system for coordinate measurement. This system make possible to contactless measurement of displacement in axis x, y with compensation refractive index of air. The emphasis was placed on with high accuracy and repeatability measurement on nanometre level for wavelength 633 nm. Part of the contractual research was development and realization driving system for detection of signals. We used homodyne detection system. The measurement system was tested in laboratory and then was installed in the aim system.
Keywords: interferometry; laser measurement; refractive index of air

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0277949

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-369667


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Reports > Research reports