Název: The intrinsic submicron ZnO thin films prepared by reactive magnetron sputtering
Autoři: Remeš, Zdeněk ; Stuchlík, Jiří ; Purkrt, Adam ; Chang, Yu-Ying ; Jirásek, Vít ; Štenclová, Pavla ; Prajzler, V. ; Nekvindová, P.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: NANOCON 2016. International Conference on Nanomaterials - Research and Application /8./, Brno (CZ), 20161019
Rok: 2017
Jazyk: eng
Abstrakt: The DC reactive magnetron sputtering of metallic target in oxide atmosphere is a simple method of depositing the intrinsic (undoped) nanocrystalline layers of metal oxides. We have optimized the deposition of the intrinsic ZnO thin films with submicron thickness 50-500 nm on fused silica glass substrates and investigated the localized defect states below the optical absorption edge down to 0.01 % using photothermal deflection spectroscopy from UV to IR. We have shown that the defect density, the optical absorptance and the related optical attenuation in planar waveguides can be significantly reduced by annealing in air at 400 °C.
Klíčová slova: optical spectroscopy; photothermal deflection spectroscopy; plasma treatment; reactive magnetron sputtering; ZnO
Číslo projektu: GC16-10429J (CEP), KONNECT-007
Poskytovatel projektu: GA ČR, AV ČR
Zdrojový dokument: NANOCON 2016 8th International Conference on Nanomaterials - Research & Application. Conference proceedings, ISBN 978-80-87294-71-0
Poznámka: Související webová stránka: https://www.nanocon.eu/cz/sbornik-nanocon-2016/

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0274448

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-364667


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference