Original title: Elektrochemické leptání křemíku
Translated title: Electrochemical etching of silicon
Authors: Vrzal, Pavel ; Voborný, Stanislav (referee) ; Šamořil, Tomáš (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Elektrochemické leptání nachází uplatnění při modifikaci polovodičových materiálů. Pomocí této metody lze připravit širokou škálu struktur, které lze využít v biotechnologiích, nanotechnologiích nebo elektronice. Mezi tyto struktury patří porézní křemík. Úkolem bakalářské práce byla příprava porézního křemíku pomocí elektrochemického leptání a studium jeho vlastností. Nejdříve byla provedena obecná studie, ve které byla věnována pozornost vlastnostem porézního Si a možnostem jeho výroby. Experimentální část se zabývá návrhem leptací cely pro elektrochemické leptání a přípravou porézního křemíku chemickou a elektrochemickou metodou. Vytvořené struktury byly následně analyzovány pomocí rastrovací elektronové mikroskopie. Pozornost byla také zaměřena na fotoluminiscenční vlastnosti porézního křemíku. The electrochemical etching is very used technique for semiconductor materials modification. Different structures which find applications in many fields (biotechnology, nanotechnology or electronics) can be prepared by this technique. The task of bachelor’s thesis was preparation of porous silicon using electrochemical etching. At first, a study dedicated to porous Si was carried out. Experimental part of this work deals with a design of etching cell which was used for preparation of porous silicon by electrochemical etching. In addition, the porous Si was prepared by metal assisted chemical etching. Subsequently, created structures were analyzed by scanning electron microscopy. Photoluminescence properties of porous silicon were studied as well.
Keywords: electrochemical etching; etching cell; hydrofluoric acid; metal assisted chemical etching; nanoparticles; photoluminescence; porosity; porous silicon; SEM; Silicon; elektrochemické leptání; fotoluminiscence; katalyzované chemické leptání; kyselina fluorovodíková; Křemík; leptací cela; nanočástice; porozita; porézní křemík; SEM

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/69014

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-355469


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses