Home > Conference materials > Papers > O možnosti současného měření složení a tloušťky tenkých polovodičových vrstev Ga.sub.x./sub.In.sub.1-x./sub.As.sub.y./sub.P.sub.1-y./sub. na podložce InP
Original title:
O možnosti současného měření složení a tloušťky tenkých polovodičových vrstev Ga.sub.x./sub.In.sub.1-x./sub.As.sub.y./sub.P.sub.1-y./sub. na podložce InP
Translated title:
Note on the simultaneous measurement of thickness and composition of Ga.sub.x./sub.In.sub.1-x./sub.As.sub.y./sub.P.sub.1-y./sub./InP thin films
Authors:
Starý, V. ; Olšovec, P. ; Jurek, Karel ; Peřina, Vratislav ; Kohout, Jindřich Document type: Papers Conference/Event: Konference českých a slovenských fyziků /12./, Ostrava (CZ), 1996-09-02 / 1996-09-06
Year:
1996
Language:
cze
Keywords:
electron probe analysis; epitaxial layers; III-V semiconductors; thin films Host item entry: 12. Konference českých a slovenských fyziků. Sborník příspěvků
Institution: Institute of Photonics and Electronics AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0113648