Original title: Sestavení a testování zařízení pro výrobu ozonované vody a její aplikace na čištění křemíkových desek
Translated title: Assemblage and testing of the device for water ozonizing and its application for silicon wafer cleaning
Authors: Ředina, Dalibor ; Mikulík, Petr (referee) ; Voborný, Stanislav (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2017
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]

Keywords: cleaning of silicon wafers; contactor; CSVG a.s.; destructor; DIO3; generator of DIO3; membrane contactor; ozonated water; ozone; semiconductor industry; SPM; TXRF; CSVG a.s.; destruktor; DIO3; generátor DIO3; kontaktor; membránový kontaktor; ozon; ozonovaná voda; polovodičový průmysl; SPM; TXRF; čištění Si desek

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/67808

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-319932


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses
 Record created 2017-06-12, last modified 2022-09-04


No fulltext
  • Export as DC, NUŠL, RIS
  • Share