Home > Academic theses (ETDs) > Doctoral theses > Studium diagnostických systémů pro plazmové zdroje určené pro depozice tenkých vrstev ( s aplikací v plazmochemii)
Original title:
Studium diagnostických systémů pro plazmové zdroje určené pro depozice tenkých vrstev ( s aplikací v plazmochemii)
Translated title:
A study of diagnostic systems for plasma sources designed for deposition of thin films (with an applicaton in plasma chemistry)
Authors:
Virostko, Petr ; Tichý, Milan (advisor) ; Pavlík, Jaroslav (referee) ; Biederman, Hynek (referee) ; Zajíčková, Lenka (referee) Document type: Doctoral theses
Year:
2010
Language:
eng
Institution: Charles University Faculties (theses)
(web)
Document availability information: Available in the Charles University Digital Repository. Original record: http://hdl.handle.net/20.500.11956/24286