Název: SMV-2016-02: Lift-off technologie pro metalické mikrostruktury
Překlad názvu: SMV-2016-02: Lift-off technology for metallic microstructures
Autoři: Krátký, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Horáček, Miroslav ; Matějka, Milan ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2016
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]

Klíčová slova: e-beam lithography; lift-off technology; metallic microstructure; reactive ion etching

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0266240

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-262482


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy
 Záznam vytvořen dne 2017-01-11, naposledy upraven 2021-11-24.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet