Název: Surface acoustic waves in the layered systems
Autoři: Tarasenko, Alexander ; Boháč, Petr ; Jastrabík, Lubomír
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: European Conference on Acoustic Emission Testing /32./( EWGAE 2016 ), Praha (CZ), 20160907
Rok: 2016
Jazyk: eng
Abstrakt: The laser acoustic method was used for analysis of two layered systems: thin titanium and diamond like carbon films both deposited on silicon. The film and substrate parameters are determined by fitting the theoretical curve to the measured dispersion curve. The fit software seeks that set of the system parameters whose theoretical curve coincides the best with the experimental data. For the titanium film the best root-mean square deviation was 2.04 m/s with the relative error < O.I % and for the DLC system the corresponding value was 0.30 m/s (the relative error < O.O1 % ).
Klíčová slova: diamond-like carbon films; laser acoustic method; layered systems; surface acoustic waves; Ti films
Číslo projektu: LO1409 (CEP), TA03010743 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA MŠk, GA TA ČR
Zdrojový dokument: EWGAE 2016. Proceedings of the European Conference on Acoustic Emission Testing /32./, vol. 2, ISBN 978-80-214-5386-9

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0262960

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-261134


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference