Original title: Vývoj nosiče vzorků pro měření elektrických vlastností v UHV SEM
Translated title: Development of the sample holder for electrical diagnostics in UHV SEM
Authors: Axman, Tomáš ; Pavera, Michal (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2016
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato bakalářská práce se zabývá konstrukcí a následným testováním nosiče vzorků umožňující ohřev, chlazení a měření teploty vzorku a zásobníku vzorků pro vysokovakuovou aparaturu skenovacího elektronového mikroskopu, který je vyvíjen ve spolupráci s firmou Tescan. Teoretická část se zabývá rešeršní studií v současnosti používaných nosičů vzorků pro UHV a zhodnocení jejich pozitiv a negativ. Pojednáno je také o vhodnosti použití některých materiálů. Experimentální část popisuje samotnou konstrukci receptoru paletek s ohledem na nutný počet elektrických kontaktů pro měření elektrických vlastností vzorků a kompatibilitu s UHV. Následuje samotné měření a testování vyrobeného funkčního vzorku receptoru paletek jak při nízkých tak při vysokých teplotách. This bachelor thesis focuses on design and testing of a sample holder enabling for cooling and heating of the sample in ultra-high vacuum apparatus for scanning electron microscope, developed in cooperation with Tescan company. In the theoretical part the currently used sample holders in similar UHV systems are described and their positives and negatives are discussed including material selection. The experimental part describes designing of the sample holder with respect to the required number of electrical contacts for measuring electrical properties of the samples and UHV compatibility. Measurement and testing of the manufactured sample at low and high temperatures is presented.
Keywords: palettes holder; sample holder; stack of palette; temperature separation; UHV SEM; nosič vzorku; receptor paletek; teplotní dělič; UHV SEM; zásobník paletek

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/61036

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-254575


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses