Original title: Ionizační detektor pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Translated title: Ionization detector for environmental scanning electron microscope
Authors: Melechovský, Ondřej ; Čudek, Pavel (referee) ; Jirák, Josef (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2014
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Předkládaná práce se zabývá environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií. Na začátek je stručně popsána stavba přístroje. Důležitá část práce je věnována interakcím elektronů se vzorkem a signálům vystupujícím ze vzorku. Zejména se práce soustředí na detekci sekundárních elektronů pomocí ionizačního detektoru. Experimentálně je v práci určen vliv pracovních podmínek a velikosti elektrodového systému ionizačního detektoru na velikost detekovaného signálu. Presented work deals with environmental scanning electron microscopy. The construction of the device is described concisely in the beginning. Important part is devoted to interaction of electrons with specimen and signals emitted from the specimen. The work aims especially at detection of secondary electrons using the ionization detector. Experimentally is determined effect of working environment and size of electrode system of ionization detector on detected signal.
Keywords: backscattered electrons; Environmental scanning microscope; ionization detector; secondary electrons; signal level; size of electrode system; Environmentální rastrovací elektronový mikroskop; inoizační detektor; sekundární elektrony; velikost elektrodového systému; zpětně odražené elektrony; úroveň signálu

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/34157

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-244424


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses