Název:
Metoda napěťového kontrastu v EREM
Překlad názvu:
Voltage contrast method in ESEM
Autoři:
Krňávek, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2011
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje funkci mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak vznik zpětně odražených a sekundárních elektronů a metodu napěťového kontrastu. Praktická část se zabývá problematikou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek a stanovuje vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrasu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů.
This work contains theoretical description of basic features and principles of electron microscopy, with focus on environmental scanning electron microscopy. It describes function of the microscope, interactions that takes place after collision of electron pack with a sample, mainly it describes creation of back reflected electrons and secondary electrons and methods of voltage contrast. The practical part focus on voltage contrast issue by observing decomposition of electric potentials on surface of semiconductor devices and it establishes ideal working conditions for observing voltage contrast by scintillation detector of secondary electrons.
Klíčová slova:
Environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM); ionizační detektor (ID); scintilační detektor (SD); sekundární elektrony (SE); zpětně odražené elektrony (BSE).; back scattered electrons (BSE).; Environmental scanning electron microscope (ESEM); ionization detector (ID); scintillation detector (SD); secondary electrons (SE)
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/7773