Název:
Polovodičové senzory plynů na bázi oxidu ciničitého
Překlad názvu:
Tin dioxide based semiconducting gas sensors
Autoři:
Gablech, Imrich ; Pytlíček, Zdeněk (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2014
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Práce se zabývá polovodičovými senzory plynů, jejichž aktivní vrstva je tvořena oxidem ciničitým (SnO2). V první části jsou rozděleny senzory plynů dle principu jejich funkčnosti. Dále je popsán princip fungování polovodičových SnO2 senzorů a možné modifikace této aktivní vrstvy. Praktická část komplexně shrnuje senzor plynů od jeho návrhu až po samotnou výrobu, testování a charakterizaci. Při konstrukci senzoru bylo využito několika mikroelektronických technologií, jako je například tenkovrstvá, tlustovrstvá, LTCC, spray-coating nebo wire-bonding technologie. V samotném závěru jsou shrnuty vlastnosti vyrobených senzorů a rozdíly ve funkčnosti modifikovaného a nemodifikovaného senzoru.
This project is aimed at semiconductive gas sensors based on tin dioxide. In the first part, gas sensors are divided depending on their principal of functionality. Next part is about functionality of tin dioxide gas sensors and the possibilities of active layer modification. Experimental describes gas sensor from its drawing until construction, testing and characterization. Several microelectronic technologies such as thin-film, thick-film, LTCC, spray-coating or wire-bonding were used for constructing the sensor. In the last part properties of gas sensors and differences in functionality between modified and unmodified gas sensor are summarized.
Klíčová slova:
charakterizace; modifikace; oxid ciničitý; polovodičový senzoru plynu; teplotní stabilizace; uhlíkové nanotrubice; carbon nanotubes; characterization; modification; semiconductor gas sensor; thermal stabilization; tin dioxide
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/32173