Název: SMV-2014-28: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Překlad názvu: SMV-2014-28: Development of test specimens for SEM
Autoři: Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Meluzín, Petr ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Urbánek, Michal ; Krátký, Stanislav
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2014
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Náplní práce byl výzkum/vývoj a realizace přesných reliéfních struktur pomocí mikrolitografických technik v křemíku pro testování zobrazování rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Výzkum zahrnuje analýzu grafických vstupu z ohledu jeho použití pro testování metriky skenovacích elektronových mikroskopů, výzkum vhodných technik a postupů pro přípravu reliéfních prvku v křemíku ve vysoké přesnosti a opakovatelnosti. The aim of the work was the research/development and realisation of precise relief structure for testing imaging of scanning electron microscopes (SEM) using microlithographic techniques of recording in the silicon. Research includes analysis of graphical input with respect of their use for testing of SEM imaging metric, research of appropriate techniques and procedures suitable for the preparation of relief elements in the silicon with high accuracy and repeatability.
Klíčová slova: e-beam lithography; microlithography; relief structure; silicon etching

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0242373

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-180956


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy